Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем

Конспект лекций по дисциплине. — М.: МИЭТ, 2011. — 172 с. — ISBN 978-5-7256-0652-2Рассмотрены электрохимические и химические процессы модифицирования поверхности и нанесения покрытий в технологии создания наноструктур. Особое внимание уделено процессам анодного окисления и растворения и катодного осаждения материалов, формирования пористых наноструктур. Отдельная лекция посвящена химическому методу формирования полупроводниковых соединений из водных растворов. Представлены различные способы применения низкотемпературных процессов в технологии формирования полупроводниковых структур.
Разработан для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению
деятельности ННС «Наноэлектроника».
Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 150100 «Материаловедение и технология материалов».СодержаниеПредисловие
Предмет электрохимии. Основные понятия и определения. Электролитическая диссоциация
Электропроводность растворов электролитов. Механизм образования ЭДС и природа электродного потенциала
Двойной электрический слой вблизи поверхности металлического электрода и его строение.
Термодинамическое выражение для равновесного электродного потенциала
Основные принципы кинетики электродных процессов
Основные принципы кинетики электродных процессов (продолжение)
Полупроводниковые электроды в электрохимических процессах
Энергетические характеристики ячейки с полупроводниковым электродом
Процессы анодного растворения в технологии микро- и наноструктур. Анодное растворение
полупроводников
Анодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур.
Анодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур (продолжение)
Закономерности образования барьерных анодных оксидов на поверхности металлов
и полупроводников
Закономерности образования пористых анодных оксидов
Закономерности образования пористых анодных оксидов (продолжение)
Катодное осаждение в технологии микро- и наноструктур
Катодное осаждение сплавов в технологии соединения элементов микросистем
Матричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристаллов
Формирование сверхтонких слоев полупроводниковых соединений методом
молекулярного наслаивания
Заключение
Литература