Vakuumbeschichtung: Anlagenautomatisierung — Meß- und Analysentechnik
H. Birck, J. Moll (auth.), Prof. Dr. Gerhard Kienel (eds.)
Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Kategorije:
Godina:
1994
Izdanje:
1
Izdavač:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Jezik:
german
Strane:
368
ISBN 10:
3642635113
ISBN 13:
9783642635113
Serije:
VDI-Buch
Fajl:
PDF, 13.29 MB
IPFS:
,
german, 1994
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